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Bosch工艺

时间:2026-10-15 17:44:00 浏览:902次

Bosch工艺

Bosch工艺是指在集成电路制造中为了阻止或减弱侧向刻蚀,设法在刻蚀的侧向边壁沉积一层刻蚀薄膜的工艺。因最早由Robert Bosch提出,亦被称为Bosch工艺。

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标签:Bosch工艺,Bosch,工艺

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